應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。