日本shinkuu等離子清洗裝置介紹
多用途樣品儲存/等離子清洗裝置 VE2030 特殊規(guī)格修改裝置
它是一種與電子顯微鏡觀察樣品相關的多用途設備,具有三種功能。
使用渦輪分子泵 (TMP) 獲得的清潔高真空作為主排氣系統(tǒng),( 1)
通過用射頻激發(fā)等離子體照射和加熱來清潔樣品架。
(2) 金屬和碳在高真空氣氛中的真空沉積,以及 TEM 和 SEM 隔膜的熱清洗。
(3)電子顯微鏡樣品架和FIB裝置樣品架的真空儲存。
它是一種特殊規(guī)格的設備,配備有排氣系統(tǒng)序列控制、渦輪泵、隔膜泵和全量程真空計。
為了在真空下儲存樣品和 SEM 樣品架,可以儲存大量樣品。
交換樣品時,專用交換室允許裝載和卸載樣品,而不會將儲存的樣品暴露在大氣中。
TVS-40T 獨立四腔型
TVS-10T腔體擴容機型
SVS-100T SEM樣品專用機型
MSP-40T 多用途、多目標支持
兼容 MSP-20TK 鎢絲燈等
MSP-20UM 通用型,全自動
MSP-1S 標準型號
MSP-mini φ30mm靶材,低價
MSP-20MT φ100mm 通用型,全自動
MSP-8in φ200mm ? Pt 鍍膜機
MSP-12in φ300mm ? Pt 鍍膜機
HPC-20 全自動寬樣臺
HPC-1SW 低價,寬樣品架
HPC 選項 提高功能和安全性
替換芯型碳 SLC-30
VC-100S / 100W φ0.5mm 僅用于碳
VES-10碳飛濺/親水處理
VE-2030 許多選項/改造支持
VE-2013 緊湊型臺式,超高速真空排氣
VE-2012 緊湊型臺式,超高速真空排氣
薄膜沉積設備選項
PCU-30 樣品去污
PIB-20 寬樣品臺 親水處理
PIB-10 低成本親水處理
VFD-30 全自動高性能機型
VFD-21S 低價長銷機型
VFZ-101 冷凍分割工具組
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