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技術文章

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機SC-708系列


特征

  • 大型基板全鍍膜的離子濺射設備

  • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。

  • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時支持 PDMS 表面處理

  • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



應用/結果示例

  • 適用于各種設備的電極膜附件

  • 反光膜制作應用

  • 樣品表面親水化處理應用（蝕刻方式）

  • PDMS表面處理應用（蝕刻模式）等



基本規格

陰極φ4-8英寸/2極對向電極
濺射電流
蝕刻電流		0-50mA（包括電流表）
濺射電壓
蝕刻電壓		0.8 / 1.4kV
氣體引入機制針閥
真空泵直聯回轉泵：100l/min（帶自動漏氣）
腔室尺寸內徑φ240mm x D240mm（SUS制）
樣品交換方式前門開閉式
樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
尺寸（寬/深/高）主體：282/450 / 440mm
RP：460/175 / 265mm
重量身體：約20kg
RP：23kg





特殊規格示例

SC-704AT
SC-704AT
膜厚可控全自動機型
SC-704MC
SC-704MC
磁控陰極采用型號
（無蝕刻/交流濺射功能）

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