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技術文章

日本精密陶瓷株式會社氧化鋯(ZrO2)

日本精密陶瓷株式會社氧化鋯(ZrO2)

氧化鋯(ZrO2

 

我司的氧化鋯(ZrO2)是加入了3mol%Y2O3的部分穩定氧化鋯。
材料顆粒直徑小,可進行高精度加工。

  • 常溫機械強度
  • 常溫斷裂韌性
  • 耐磨耗性
  • 隔熱性
  • 電絕緣性
  • 近似金屬的熱膨脹

 

ジルコニア(ZrO2)の畫像

主要用途

  • 模具?冶工具(各種模具、精密定位治具、絕緣治具)
  • 粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機)
  • 工業用刀具(工業用切刀、分條機、平壓輥)
  • 光連接器部件(密封圈、套筒、V型槽夾具)
  • 特殊彈簧(盤簧、板簧)
  • 消費類產品(小型絕緣螺絲刀、陶瓷刀、切片器)

特點

氧化鋯是一種在常溫下機械強度高、斷裂韌性高的材料。我司的氧化鋯(ZrO2)是加入了3mol%Y2O3的部分穩定氧化鋯(PSZ)。
因PSZ的材料顆粒直徑小,可完成高精度加工,在模具等精密加工零部件領域的應用正在擴大。
此外,也可用于工業刀具、光連接器部品以及粉碎設備的介質。
利用PSZ的高斷裂韌性可制成特殊彈簧,還被廣泛用于家用陶瓷刀、切片器等部件。

氧化鋯

型號特點密度楊氏彈性模量彎曲強度斷裂韌性熱膨脹系數熱傳導率體積電阻
[g/cm3][GPa][MPa][MPa?m1/2][×10-6/K][W/m?K][Ω?cm]
ZRP01高強度
耐磨耗
6.0210980610.03>1012

熱膨脹系數為RT~200℃時的測量數據。

氧化鋁(Al2O3

 

氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。

  • 電絕緣性
  • 耐磨耗性
  • 耐熱性
  • 耐腐蝕性
  • 耐等離子性

 

アルミナ(Al2O3)の畫像

主要用途

  • 半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤)
  • 粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機)
  • 一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承)
  • 高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具)
  • 耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌)
  • 電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)

特點

氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優異的電絕緣性能,早期開始即應用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本低的材質。
我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異,可生產大型產品。
此外,由于其具有優異的耐等離子特性,也可用于CVD設備或蝕刻設備的部件。

氧化鋁

型號特點密度楊氏彈性模量彎曲強度斷裂韌性熱膨脹系數熱傳導率體積電阻
[g/cm3][GPa][MPa][MPa?m1/2][×10-6/K][W/m?K][Ω?cm]
ALP01
氧化鋁99.5%
用途廣泛
高剛性
3.93704403~46.333>1014
ALP02
氧化鋁99.9%
高純度
高剛性
3.93704503~46.330>1014
 

碳化硅(SiC)

 

碳化硅(SiC)是我司擅長的材料。擁有大型真空爐,可生產1m見方的產品。

  • 高溫機械強度
  • 耐磨耗性
  • 高熱傳導性
  • 耐腐蝕性

 

炭化ケイ素(SiC)の畫像

主要用途

  • 滑動部件(機械密封、化工泵軸承、軸)
  • 粉碎機部件(分級機、氣流粉碎機、砂磨機)
  • 半導體制造設備部件(XY平臺、MOCVD托盤、聚焦環、晶圓夾盤)
  • 成型機部件(相機鏡頭成型機部件)
  • 耐熱部件(燃燒器噴嘴、高溫試驗機部件、熔融金屬用坩堝)
  • 耐磨部件(噴砂機噴嘴、噴丸機拋丸機葉片、埋地管道保護板、釣具導向環)

特點

碳化硅是一種黑色陶瓷,和其他的精密陶瓷相比,在高溫環境(1000℃以上)中機械強度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其強共價鍵,在各種精密陶瓷材料中硬度高、耐腐蝕性優異、在液體中的滑動特性良好。
利用這些特點,使用在機械密封、化工泵軸承等方面。此外,也可用于半導體生產設備的晶圓叉等。

碳化硅

型號特點密度楊氏彈性模量彎曲強度斷裂韌性熱膨脹系數熱傳導率體積電阻
[g/cm3][GPa][MPa][MPa?m1/2][×10-6/K][W/m?K][Ω?cm]
SCP01耐腐蝕
高硬度
3.143049033.1140104
SCP02高熱傳導
高電阻
3.143049033.1170106
SCP03高強度
氣孔小
3.143670033.1132
 

 

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